當前位置:上海添時科學儀器有限公司>>合肥科晶總代理>>退火爐>> GSL-2000X-HV高溫/高真空退火爐
結構特點:•采用SS304不銹鋼真空腔體,尺寸:凈666mm×560mmH
•底部樣品臺電動升降,裝卸樣方便快捷
•最高真空度:10-6Torr
•最高工作溫度:2000℃
基本參數
電源 | AC380V50/60HZ |
功率 | 22KW |
加熱元件 | 石墨 |
加熱空間尺寸 | 220×280mmH |
理想放樣空間尺寸 | 中180mm×160mmH |
加熱元件最高工作溫度 | 2000℃ |
升溫速率 | 室溫-1000℃≤15℃/min,1000-1600℃≤10℃/min,1600-2000℃≤8℃/min |
溫控系統:•PLC+人機界面控制
•C型熱電偶進行測溫和控制
•PID控制
•具有超溫及斷偶報警功能
•控溫精度:±1℃
•可安裝PC控制軟件對數據進行實時采集(選配)
控制系統:設備的抽真空,加熱等操作全部在電腦上運行
真空度:•冷態下可達到的最高真空度(真空泵另購):
8*10-6Torr(采用分子泵機組,配套抽真空口CF160接口)
5*10-2Torr(采用機械泵機組,配套抽真空接口KF40接口)
機械泵(選配):•型號:VRD-48
•抽氣口接口尺寸:KF40
•抽氣速率:(48m3/h)13.3L/S
•電機功率:1500W
•極限壓強4×10-2pa
分子泵(選配):•抽氣速率:700L/s
•極限壓強:6×10-6Pa
•啟動時間:≤9min
•額定轉速:36000rpm/min
•冷卻方式:水冷
•抽氣口接口尺寸:CF160
水冷設備(選配):型號:CT-6300
•輸入電壓:220-240V50HZ
•水箱容量:45L
•水流量:70L/min
氣路系統(選配):•真空腔室預留一個抽真空KF40抽真空接口,預留一個手動排氣口(通空氣),預留18 個進氣和出氣孔,上、中、下各分布6個氣孔。同時在進氣和出氣端共配置3個電磁閥,可以通過控制面板控制電磁閥的通斷,同時電磁閥出口處安裝卡套接頭,方便客戶自己手動安裝電磁閥和腔體預留18個進氣孔之間的連接方式。
•其中在一路進氣端安裝有一個單向閥門。
設備外型尺寸:1850mm*1000mm*2080mm*(長寬高)
重量:約620kg
注意事項:由于氣瓶內部氣壓較高,所以向腔室內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,
建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;
對于樣品加熱的實驗;不建議關閉法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,
若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,
請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。
降溫時請利用程序降溫,不建議直接降溫,設備溫度在100℃以上時不要直接關掉水冷設備電源,防止出現安全問題